“我自己设计的。”
骆垚的眼睛和杨明的眼睛开始对视。
骆垚眼中一丝情绪都没有,杨明看不穿骆垚的想法,但直觉告诉他这事如果真是骆垚干出来的,那可以入选天方夜谭故事集选了。
杨明试探的问道:“小同志,这事情可不能开玩笑,EUV光刻机光源系统这套技术现在连斯喀戎那边都没有掌握,你确定是你自己设计的?”
骆垚早就知道对方有此一问,所以很快地说起了原理:“光刻机一般分两种,一种是DUV,而另一种就是EUV,DUV使用的光源波长是193纳米,而EUV使用的是13.5纳米波长的光源。”
“根据瑞利判据R=D/1.22,可以得出,光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比。”
“所以如果要制造更小尺寸的芯片,就需要更短波长的光,也就是EUV的光源。”
“实际上我们都知道EUV的光源使用的还是193纳米的光,但是用它去连续击打两次液态金属锡,就能得到13.5纳米的光。”
“截止到这里都很简单,不过最难的是它的光路系统中的零件,也就是透镜。”
杨明边听边点头。
透镜的成本占到了整个光刻机的40%左右,成本相当高昂。
光刻机的透镜就跟照相机镜头,由不同形状的镜片组成。
如果想更好的理解光刻机,也可以说它是一台大型的照相机。
不同的是,普通的照相机是来拍妹子的,而光刻机则是用来把集成电路图形通过曝光显影的原理,复制到晶圆上。
所以透镜就和照相机镜头一样,主打就是一个贵字。
就是打月亮的神镜头,都要叫光刻机透镜一声爸爸。
光刻机上面现在有二十多块透镜,现在能造出来的只有三家国外工厂,华国这边则还在研发中。
“当初这透镜就难倒了我们,长机那边产的透镜,透光率和光滑程度再怎么做也做不到外国那样,光源在上面反射出来的效果根本没法用。”杨明说到这个事情就觉得伤心。
“70年代我们没有搞半导体真的失去太多了。”杨明感叹道。
骆垚看着杨明那一张满藏遗憾的脸,想了想,决定摊牌了:“透镜的技术难点其实都在这个硬盘里面。”
说着,骆垚将他的红色硬盘拿了出来,放在了会议桌上。
会议室内其他四个人都看着桌上的红色硬盘,默不出声。
顶尖的透镜技术都在红色硬盘里面?
这怎么可能?
就在大家犹豫的时候,饶慧灵坐不住了,她伸手拿过了硬盘。
“我们先来看看再说。”
饶慧灵拿过电脑接入硬盘,开始看了起来,不一会儿她就不可思议地看着屏幕说:“透镜的光学晶体极为特殊,只有高纯稀土卤化物中晶体成品的性能才能符合要求。”
“骆垚,这一条你是怎么得出来的?”
“计算。”
“每一种稀土的晶体影响结果我都进行过计算,最终锁定了高纯稀土卤化物。”
杨明听到听到这里有些激动地说:“确实是高纯稀土卤化物没有错,这个之前我们也计算过。”
“伱们看下,这份文档不光包括了透镜技术还有光刻胶技术、工作台系统、投影物镜系统、掩模台系统、自动校准系统…光刻机所有工程文件基本上都在里面。”
听到饶慧灵这么说,杨明一脸严肃的接过了电脑和旁边的人一起看了起来。
整个文件不仅有技术、原理,甚至还包括了每一个零件的尺寸大小!
连一颗螺丝钉的规格、材质都写的清清楚楚。
说直白点,呈现在他们面前的就是一份光刻机傻瓜制造指南,可以说是手把手教会人如何制造光刻机。
但这技术是对的吗?
付道斌和他带来的专家小声交流的意见后,他问骆垚:“骆垚,这份文件你确定不是来自于国外?”
“不是,我一个16岁的人,我从哪儿去获得这么详细的资料?”骆垚觉得付道斌问得很奇怪。
“如果我都能从AS公司那里获得全套光刻机技术,那是不是意味着AS公司的人也太蠢了点?”骆垚毫不客气地评价道。
骆垚的话提醒了付道斌。
对方只是个从小镇上来的16岁的孩子,从什么渠道获取?而且最近还派了人跟着他,他除了和公司还有家人接触之外,完全没和其他人有过交际。
AS公司严防死守那么多年,怎么可能泄露这么完整的技术出来?
现在看来,唯一可以解释的是,这一切真的是骆垚自己设计的。
华记公司跟付道斌汇报过,骆垚的智商在230以上,这让付道斌对于骆垚能够拿出光刻机技术的疑虑消下去了不少。
不过这样问题也就来了。
要不要按照骆垚提供的工程设计图进行模型验证?
“杨教授,还有石教授,你们怎么看?”
石林刚才一直没有说话,现在付道斌提起他时,他才说道:“我现在只是粗略的看了一遍,里面的部分原理和我们之前研究的结果是一致的。”
“我想问问骆垚,之前你说要拆机是为了什么?”
石林知道依照骆垚的水平,他拆机绝对不可能和哈士奇拆家一个想法,所以拆机的原因,石林觉得这很有可能就是关键信息。
“因为我还没有证明我的想法是不是正确的,这些文件虽然很详细,但没有材料、没有专业团队的帮助,我无法建立模型验证。”
经过第一次的盘古EDA,骆垚其实知道系统提供的技术,绝对不会掺水分,可这事别人不知道。
所以骆垚决定以退为进,主动提出要进行验证。
果然,骆垚这么一说,
付道斌就顺势同意了:“那这样,我们光在这说也无济于事,就加快速度组专家团队做理论论证和建立模型!”
“好,我们的意思也是如此,这套设计方案还是需要拿去论证了才行。”石林赞同道。
“骆垚这边上次就开发出了盘古EDA,这次没准儿还真的能够帮助我们找到建造光刻机的正确方法。”
付道斌现在内心激动无比,如果这次骆垚能和上次一样,提供的是他们追寻已久的技术,那么眼前的困局就可能解开了!
“盘古EDA也是骆垚开发的?”全会议室唯一不知情的杨明,乍一听到这话时,总以为自己是听错了。
直到付道斌确认后,他才意识到骆垚此刻提供的工程设计文件,含金量有多高。
“付主任,验证过程可以让我参加进去吗?”杨明此时心中已经燃起了一小团属于希望的火苗。
他曾经多次幻想过自己有朝一日能够带着团队找出制造光刻机的关键,但都收获甚微。
现在,有一个机会很有可能让他亲眼目睹光刻机技术在华国的诞生,他当然想要参与进去。
“杨教授,你当然要参加了,这次验证速度一定要快,否则我们也不知道接下来对面会采取什么样的行动。”
“付主任您放心,保证完全任务!我们直接干通宵!”
杨明如今已经四十多岁了,早已不年轻了,但他知道华国此时急需要一台自主的光刻机来脱困!
这种情况下,杨明感觉自己又回到了十年前,全身都充满干劲的时候。
付道斌连打了几个电话安排专家连夜赶到还在起步阶段的光刻机研究所去。
专家们接到电话时都很茫然和焦灼,心想这是遇见了什么难题吗?
光刻机的难题可不是随随便便就能解决的,这下一去,不知道什么时候才能解开。
结果等他们到了研究所时,他们才发现,是领导给他们整了一份光刻机制造全过程的图纸。
专家们惊骇之下当然想问清楚图纸的由来,但他们的领导只说了两字“涉密”。
“反正是我们的人想出来的,验证的事情就需要各位来跟进,上面领导高度重视这件事,时间紧迫,我们需要在两个月之内完成模型验证。
两个月?!
事情是真的赶。
但研究所的人,没有一个有意见,他们反而都振奋了起来。
因为他们知道,晚一步,他们就会受到不公平的待遇。
晚一步,他们就是展板上的鱼肉。
晚一步,身上的屈辱就会越来越多!
这一刻,他们要为了洗清曾经的屈辱而行动!
另一边。
骆垚拿出了光刻机工程设计图的事情,已经传到了华记总裁办的耳中。
总裁办的人再三询问了饶慧灵细节之后,一时都陷入了沉默。
他们七人平时自诩为洞察力比普通人要高得多,但此刻他们却看不透骆垚。
“正总,你说骆垚拿出来的光刻机到底是真是假?他有从何而来?”路高眉头紧皱,总感觉骆垚一个人找到了光刻机的技术真是太匪夷所思。
正厚生沉思了一会儿后说道:“这个问题你不能以普通人的眼光去看待。”
“骆垚具备超高的智商,光凭这一点,他在研发上的成就肯定会比别人高。”
“再加上骆垚个人刻苦努力,你看他一回来,也不休息,天天都去图书馆,看的还都是和光刻机相关的书,这说明骆垚能够绘制出那些工程图纸,绝非一朝一夕就完后的事情。”
“而且,他拿假技术给我们,图什么?阻碍我们的研发进度?”
(本章完)
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